产品特点
Ø设备装料量大,生产效率高,生产成本低;
Ø采用自动报警检测和安全泄放装置,保证设备安全可靠。
产品参数
名称 |
硅单晶生长炉 |
备注 |
工艺 |
直拉法 |
|
设备直径/mm |
1600 |
|
产品尺寸/inch |
8~12 |
|
装料量/kg |
≥850 |
|
适用热场规格/inch |
32/36/40 |
|
最大等径长度/mm |
4700 |
|
主体占地尺寸/mm |
3440*2540*13000 |
|
产品特点
产品参数
名称 |
全自动硅芯炉 |
备注 |
工艺 |
直拉法 |
|
设备直径/mm |
1200 |
|
产品尺寸/mm |
8~25毫米圆柱硅芯 |
|
装料量/kg |
≥350 |
|
适用热场规格/inch |
28 |
|
最大等径长度/mm |
3600 |
|
主体占地尺寸/mm |
2800*2000*11000 |
|