高附加值高纯MO源模块
产品特点
高纯金属有机化合物，用于LED、MOCVD外延生长、AMOLED及光伏产业;根据客户提供的工艺路线定制合适的反应、分离、提纯、分装系统模块;为客户100%定制。可实现小试装置到生产装置的平稳过渡，为客户赢得宝贵的投产时间。
高附加值超高纯ALD/CVD电子特气模块
超高纯ALD/CVD前驱体广泛应用于IC、AMOLED、光伏产业等制造环节，是电子工业体现的核心原料之一。可根据客户提供的工艺路线定制合适的反应、分离、提出、分装系统模块。与客户签订严格的保密协议，为整个产品投产周期提供优质的服务，为客户创造产值。
高附加值先进材料系统模块
